2022年に創(chuàng)立50周年を迎える株式會(huì)社住化分析センターは、総合分析會(huì)社として様々な業(yè)界に向けて分析?評(píng)価サービスを提供し、その地位を確固たるものとしてきました。高度な分析?評(píng)価技術(shù)に基づく最適な解決策を、たとえば、醫(yī)薬、醫(yī)療、地球環(huán)境、食などの分野や、製造業(yè)における研究開(kāi)発?製造?品質(zhì)管理向けに提供。さらには、日本、米國(guó)、歐州、アジアを含む、グローバルな化學(xué)品規(guī)制に精通しており、その登録申請(qǐng)を行うサービスも行っています。

多彩な専門(mén)家が集まっている同社のなかから、今回は、元素の定量評(píng)価などを行っている千葉ラボラトリー 微量解析グループの奧崎 純一（おくざき?じゅんいち）氏、佐藤 秀?。à丹趣?ひでとし）氏、藤村 知也（ふじむら?ともや）氏にお話(huà)を伺いました。

株式會(huì)社住化分析センター 微量解析グループ （左から）佐藤 秀俊 様、藤村 知也 様、奧崎 純一様（千葉県袖ケ浦市の同社 千葉ラボラトリーで）

奧崎氏は、「微量解析グループでは、化學(xué)薬品の取り扱いからコンタミネーションの管理まで、その高い技術(shù)を生かして、半導(dǎo)體、先端材料、エネルギー、化學(xué)薬品などの金屬不純物測(cè)定を行っています。お客様からいただいた試料を前処理して、分析して、結(jié)果をお返しするのが私たちの仕事ですが、微量解析グループでは、お客様がどのように困っていらっしゃるのかを意識(shí)しながら、各分野の分析の専門(mén)家が、最適な分析サービスを提供することを常に心がけています?！工仍?huà)しています。同社では、元素分析においてはICP-OES（誘導(dǎo)結(jié)合プラズマ発光分光分析裝置）、ICP-MS（誘導(dǎo)結(jié)合プラズマ質(zhì)量分析計(jì)）などの分析裝置を使用しています。ICP-OESでは主成分分析から不純物分析までを行い、ICP-MSでは極微量分析で使用することが多くなっています。

金屬分析の主力はICP-OES

微量解析グループではお客様からいただいた試料ごとに最も適切な裝置を使用して分析していますが、現(xiàn)在、金屬元素分析の主力となっているのはICP-OES。幅広い濃度域に対応できるため、觸媒、セラミックス、有機(jī)材料、合金、レアアースなどのさまざまな試料中の金屬不純物あるいは主成分の分析に利用できるからです。奧崎氏は「2003年に導(dǎo)入したVarian社(*)のICP-OES『Vista-PRO』を長(zhǎng)年にわたって主力機(jī)種として使ってきました」と言います。Vista-PROの感度や精度には満足していたものの、導(dǎo)入から15年以上経過(guò)していることもあり、メンテナンスの頻度が増えてきました。安定的に分析サービスを提供するためには裝置を更新した方がよいと考え、2020年に新たなICP-OES導(dǎo)入の検討をスタートさせました。
(*) 2010年にアジレントに統(tǒng)合

使いやすいソフトウェア

感度、精度、マトリックス耐性など、裝置の基本性能はもちろんですが、使いやすさやサポート體制なども重視して比較検討した結(jié)果、2021年に「Agilent 5800 ICP-OES」を?qū)毪筏蓼筏俊?

使い慣れているという理由もあるものの、「分析條件設(shè)定に必要な項(xiàng)目が1か所にまとまっており、初めての人でも使いやすいソフトウェア」（佐藤氏）と、アジレントのICP Expertの使い勝手を評(píng)価しています。今後は、同ソフトウェアに搭載されている高速自動(dòng)カーブフィッティングテクニック (FACT) を干渉の多いサンプルに適用していくことを考えています。FACTは、測(cè)定波長(zhǎng)に重なる共存元素の干渉ピークに対して、共存元素の標(biāo)準(zhǔn)溶液を測(cè)定しそのピーク形狀を認(rèn)識(shí)させることで、干渉影響の度合いをソフトウェアが自動(dòng)的に解析して、測(cè)定波長(zhǎng)の実質(zhì)ピークのみを算出するバックグラウンド補(bǔ)正法です。一方で、「當(dāng)社のニーズにあった柔軟なレポートを作成できるよう、出力されるレポートのカスタム性が改善されると良いのですが…」とも感じています。

多様な試料の分析ノウハウを蓄積してきた住化分析センターですが、最先端の分析に挑戦していくなかでは、初めての事象に遭遇することもあります。そのようなときには、分析裝置の専門(mén)家の意見(jiàn)として、アジレントのエンジニアの意見(jiàn)がほしいと感じることもあると言います。

新たに導(dǎo)入したAgilent 5800 ICP-OESと佐藤氏

裝置更新のきっかけとなったメンテナンスについては「導(dǎo)入系などが組み立てやすいと感じます?！亥偿摹护い椁胜い韦?、初めての人でも、誰(shuí)がやっても、同じようにできそうです」と佐藤氏は感じています。

半導(dǎo)體ウェハや高純度薬品の分析にトリプル四重極ICP-MSを活用

半導(dǎo)體ウェハの金屬不純物は、製品の歩留まりや信頼性に影響を及ぼします。また、半導(dǎo)體分野で用いる薬品には高純度のものが必要ですが、その微量成分の分析も、品質(zhì)管理上求められるようになってきています。半導(dǎo)體関連の金屬不純物の分析において、住化分析センターでは、「Agilent 8900 トリプル四重極 ICP-MS」も活用しています。ICP-MSを使った分析に攜わる藤村氏は、「8900は、主に半導(dǎo)體関連の微量元素分析など、高感度で極微量な成分を分析するニーズで活用しています。シングル四重極ICP-MSでは干渉の影響で測(cè)定できない元素も測(cè)定できます。トリプル四重極ICP-MSはハードウェアとしては高性能ですが、シングル四重極ICP-MSの延長(zhǎng)という感覚で使用できます」と話(huà)しています。また、ICP-MS用のソフトウェアについては、「パラメータ設(shè)定やカスタム設(shè)定などで自由に変更できる箇所が増えており、ICP-MSを使いこなしている人にとって役立つ」と、評(píng)価しています。トリプル四重極ICP-MSは、もともとは、ナノ粒子測(cè)定も視野に入れて導(dǎo)入したものだそうで、今後、ますますICP-MSの活用が期待されています。

住化分析センターは、高度な分析?評(píng)価技術(shù)に基づいて最適なソリューションを提供できることが強(qiáng)みの1つとなっています。元素分析においても、幅広い濃度域に対応できるICP-OESから、極微量分析に対応できるトリプル四重極ICP-MSまで取り揃えており、様々なサンプルに対応できる分析技術(shù)も積み重ねてきたと言います。奧崎氏は「當(dāng)社にはお客様からの信用と信頼を最も大切にする企業(yè)風(fēng)土があります。この企業(yè)風(fēng)土と、多彩な専門(mén)家集団による総合力を生かした問(wèn)題?課題解決能力により、お客様からいただいたご要望には何かしらの解決策を提供できると思います。今後も継続してサービスを提供してまいります」と、今後の抱負(fù)を語(yǔ)ってくださいました。

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